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广东福雪莱电气有限公司

Guangdong Fuxuelai Electric Co., Ltd

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产品展示

硼扩粉尘过滤器FHG-1000

硼扩粉尘过滤器

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福雪莱过滤器，专为光伏、半导体行业硼扩机台尾排系统过滤粉尘而设计。产品容量更大，过滤面积更多，能有效延长部件保养周期，提高核心部件使用寿命，为企业降本增效发挥积极作用。
高温细丝炉体适用于光伏半导体行业硼扩磷扩工业炉体

硼扩磷扩高温工业炉体

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    高温细丝炉体适用于光伏半导体行业硼扩磷扩工业炉体，根据客户需求定制化设计。 高温细丝炉体产品特点：     可靠耐用： 精选核心材料与真空吸附工艺，保证设备长久稳定运行。     高效节能： 多层高端保温材料组合，显著降低能耗，节约运行成本。     安全专业： 细节处理到位，设计科学，满足高标准工业应用需求。
变频化学隔膜真空泵FH-20C-PR（增强版3000系统泵）

变频化学真空隔膜泵

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变频化学隔膜真空泵FH-20C-PR新泵特点：加大泵管径，预防粉尘堵塞，增加抽速和减少维护频次，提升工艺稳定性，节约人工，节省维护成本。
湿氧系统解决方案（二联式）

湿氧系统/湿氧恒温槽系列

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<h3 class="header-iWP5WJ auto-hide-last-sibling-br">湿氧自动补液系统（恒温槽二联机）核心产品卖点</h3><ol class="auto-hide-last-sibling-br list-paddingleft-2"><li>全自动化运行，彻底解放人力</li><ul class="auto-hide-last-sibling-br list-paddingleft-2"><li>实现补水、排水、换水全流程无人干预，告别人工高空作业与专人值守，规避安全隐患；</li><li>支持定时自动换水（非工艺状态执行），解决人工换水不及时导致的工艺波动问题，保障生产连续性。</li></ul><li>工艺稳定性拉满，适配半导体高要求</li><ul class="auto-hide-last-sibling-br list-paddingleft-2"><li>精准控温：70-90℃控温范围，静态温度波动≤0.3℃，源瓶加热 45 分钟即可达设定温度，保障湿氧环境稳定性；</li><li>水质严控：集成电导率实时监测，确保超纯水介质纯度符合半导体工艺标准，避免水质杂质影响产品良率；</li><li>液位精准管控：四级液位（3cm/6cm/8cm/10cm）报警与控制，防止源瓶缺液或溢液，稳定工艺参数。</li></ul><li>高效紧凑设计，适配现场安装需求</li><ul class="auto-hide-last-sibling-br list-paddingleft-2"><li>分层式布局（一层气源 / 水箱、二 / 四 / 五层恒温槽、三层电控箱），功能分区明确，便于维护与管路接驳；</li><li>二联恒温槽支持 2 个源瓶同步工作，3 台设备可适配 6 个特制湿氧瓶（1.5L 多功能设计），空间利用率高；</li><li>快速换水：单次换水仅需 10 分钟，远优于传统人工操作，减少生产中断时间。</li></ul><li>智能交互 + 灵活适配，降低落地门槛</li><ul class="auto-hide-last-sibling-br list-paddingleft-2"><li>自动 / 手动双操作模式，搭配触摸屏电控箱，操作便捷；支持以太网 Modbus TCP/IP 通讯，无缝对接上位机系统，实现远程监控与数据追溯；</li><li>标准化接口设计：空压气 φ8 PC 接头、纯水 1/4 铁氟龙接头、排水 G1/2 外牙接口，适配现场二次配需求，安装兼容性强。</li></ul><li>安全可靠 + 长效耐用，降低综合成本</li><ul class="auto-hide-last-sibling-br list-paddingleft-2"><li>多重安全保障：非工艺状态换水锁定、源瓶泄压设计、管路气密性保障，杜绝泄漏与高温风险；</li><li>核心部件优化：特制石英源瓶集成多接口（补水 / 出气 / 排水 / 泄压 / 测温），伴热带保温确保气体传输温度稳定，延长设备使用寿命；</li><li>降本显著：减少人工投入、降低工艺波动导致的废品率，提升产能与产品一致性，长期使用收益突出。</li></ul></ol>
真空调节蝶阀（蝶形压力控制阀）

真空调节蝶阀（蝶形压力控制阀）

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 蝶形压力控制阀 （真空调节蝶阀） 产品特点： 蝶形压力控制阀(又名真空调节蝶阀），应用于新能源，光伏，半导体行业，基于PECVD、LPCVD应用的TopCon电池的Poly层制造。 福雪莱公司生产的蝶形压力控制阀不仅了延续了国外蝶阀的高稳定性、具有高位分辨率，而且针对国内生产的蝶阀的不足之处，改善了阀体结构，提升了阀体使用寿命，给上位机提供了丰富的控制接口。具有低功耗、宽领域应用、多样的控制方式、高分辨率、高精度控制效果的优点。
磷扩散自动补液集中供源柜FLS-301AJ系列（灰色面板）

磷源自动补液系统

市场价:￥999999.99

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磷源自动补液系统特点：<blockquote><ul class=" list-paddingleft-2"><li>极致高效，解放人力：实现1个大源瓶对6个小源瓶的全自动补液与换源，单次仅需3分钟，远超人工效率，保障生产连续性。</li><li>精准控制，稳定工艺：采用高精度传感器与PID算法，确保补液精度达±10g，控温精度±0.2℃，从源头保障工艺稳定与良率。</li><li>全面安全，杜绝风险：集成气体泄漏检测、防爆结构、应急排风等多重防护，主动预警，快速响应，彻底杜绝高危介质的安全隐患。</li><li>智能管理，运维便捷：配备触摸屏与数据追溯功能，支持权限管理，操作简单，所有记录有据可查，大幅提升管理效率。</li></ul></blockquote>
变频化学真空隔膜泵FH-20C-P（3000系统泵）

变频化学真空隔膜泵

市场价:￥33000.00

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   变频化学真空隔膜泵FH-20C-P（3000系统泵）产品特点： 高效稳定：真空稳定易控，持久运行。 耐用低耗：超长膜片寿命，驱动系统免维护，整体维护成本极低。 环保节能：无需用水，无污染，运行安静振动小。 智能调控：自主研发压力系统，自动调节转速，操作简便。 抗腐蚀强：全面兼容化学介质，适用多种工况。
变频化学隔膜真空泵FH-20C（1000系统）

变频化学真空隔膜泵

市场价:￥33000.00

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变频化学隔膜真空泵FH-20C（1000系统,还有3000系统可选） FH-20C专为腐蚀性气体抽真空设计的三级化学隔膜泵。FH-20C具有独立十二个三级泵头作为抽力的来源，同时具有抽气速度大和达3mbar的超高极限真空的优点。所有与被抽气体接触部件均由耐酸碱的铁氟龙材料制造，具的卓越的化学耐腐蚀性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治”夹层结构的膜片增强了其可靠性和延长了其操作寿命。
变频化学真空隔膜泵FH-12C（1000系统）

变频化学真空隔膜泵

市场价:￥999999.99

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变频化学真空隔膜泵FH-12C（1000系统）专为腐蚀性气体抽真空设计的三级化学隔膜泵。FH-12C具有独立八个泵头作为抽力的来源，同时具有抽气速度大和达1.5mbar的超高极限真空的优点。所有与被抽气体接触部件均由耐酸碱的铁氟龙材料制造，具的卓越的化学耐腐蚀性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治”夹层结构的膜片增强了其可靠性和延长了其操作寿命。
变频化学隔膜泵FH-12C-P(3000系统）

变频化学真空隔膜泵

市场价:￥999999.99

价格:￥0.00

变频化学隔膜泵FH-12C-P(3000系统）产品特点： 高效稳定：真空稳定易控，持久运行。 耐用低耗：超长膜片寿命，驱动系统免维护，整体维护成本极低。 环保节能：无需用水，无污染，运行安静振动小。 智能调控：自主研发压力系统，自动调节转速，操作简便。 抗腐蚀强：全面兼容化学介质，适用多种工况。
变频化学真空隔膜泵FH-20C-PF（4000系统泵）

变频化学真空隔膜泵

市场价:￥999999.99

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变频化学真空隔膜泵FH-12C-PF（4000系统）专为腐蚀性气体抽真空设计的三级化学隔膜泵。FH-12C具有独立八个泵头作为抽力的来源，同时具有抽气速度大和达1.5mbar的超高极限真空的优点。所有与被抽气体接触部件均由耐酸碱的铁氟龙材料制造，具的卓越的化学耐腐蚀性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治”夹层结构的膜片增强了其可靠性和延长了其操作寿命。
变频化学真空隔膜泵FH-15C-P(3000系统）

变频化学真空隔膜泵

市场价:￥999999.99

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变频化学真空隔膜泵FH-15C专为腐蚀性气体抽真空设计的三级化学隔膜泵。FH-15C具有独立八个泵头作为抽力的来源，同时具有抽气速度大和达2mbar的超高极限真空的优点。所有与被抽气体接触部件均由耐酸碱的铁氟龙材料制造，具的卓越的化学耐腐蚀性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治”夹层结构的膜片增强了其可靠性和延长了其操作寿命。

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