真空调节蝶阀(蝶形压力控制阀)
发布时间: 2023-05-22 11:42
蝶形压力控制阀
(真空调节蝶阀)
产品特点:
蝶形压力控制阀(又名真空调节蝶阀),应用于新能源,光伏,半导体行业,基于PECVD、LPCVD应用的TopCon电池的Poly层制造。
福雪莱公司生产的蝶形压力控制阀不仅了延续了国外蝶阀的高稳定性、具有高位分辨率,而且针对国内生产的蝶阀的不足之处,改善了阀体结构,提升了阀体使用寿命,给上位机提供了丰富的控制接口。具有低功耗、宽领域应用、多样的控制方式、高分辨率、高精度控制效果的优点。
FRB-613系列电动调节蝶阀 - 高精度真空压力控制专家 - 广东福雪莱电气有限公司FRB-613系列电动调节蝶阀
高精度真空压力控制专家
适用于光伏、半导体、新能源装备等高精度制造领域,实现微米级精准控制,提升工艺良率与系统可靠性。
立即咨询🎯 主要应用行业
光伏行业
用于PECVD、IPCVD设备,调节工艺气体与真空度,提升电池片制造质量。
半导体工艺
用于CVD、PVD、刻蚀等工艺,精确控制真空与气体压力,保障芯片良率。
新能源装备
用于锂电池真空干燥、注液等工艺,实现快速响应与稳定压力控制。
✨ 产品核心优势
高精度控制
控制精度达±0.1%F.S.,位置分辨率32000,满足严苛工艺要求。
长寿命设计
阀体不锈钢+特殊涂层,密封件寿命测试超100万次,维护成本低。
智能通讯支持
支持RS485/Modbus RTU与EtherCAT,无缝集成PLC/DCS系统。
低功耗节能
DC24V供电,功耗≤15W,能耗降低30%,运行经济。
快速响应
K型快速开启仅需0.5秒,适用于高动态真空压力系统。
权威认证
通过ISO9001、CE、RoHS认证,严格执行国标,品质可靠。
📊 技术规格参数
| 项目 | 参数 | 说明 |
|---|
| 控制精度 | ±0.1%F.S. | 全量程高精度控制 |
| 位置分辨率 | 32000/全量程 | 标准型,K型为16000 |
| 行程时间 | 标准1.5s / K型0.5s | 快速响应型号可选 |
| 工作电压 | DC24V±10% | 功耗≤15W |
| 公称通径 | DN25 ~ DN250 | 多口径可选 |
| 介质温度 | -20℃ ~ +200℃ | 宽温适用 |
| 泄漏等级 | ANSI Class VI | 高密封性能 |
| 防护等级 | IP65 / IP67 | 防尘防水 |
| 阀体材质 | CF8M / WCB | 不锈钢/碳钢可选 |
📦 产品系列选择
提供多口径、多功能、多通讯协议的灵活配置,满足不同工况需求。
| 按口径分类 | 按功能分类 | 按通讯分类 | 按速度分类 |
|---|
| DN25, DN40, DN50, DN63, DN80, DN100, DN160, DN200, DN250 | 基础款 / 密封款 / 加热款 / 密封加热款 | RS485 / EtherCAT | 常规速度 / 快速开启(K型0.5s) |
🧠 智能控制与集成
控制模式:压力闭环PID、角度控制、位置控制、自学习模式、手动控制
通讯协议:Modbus RTU(RS485)、EtherCAT实时以太网
兼容系统:西门子、三菱、欧姆龙、台达等PLC;霍尼韦尔、艾默生等DCS;组态王、力控等上位软件
🔧 安装与操作简介
连接通讯接口:RS485或EtherCAT线缆接入对应接口
接入传感器:支持4-20mA、0-10V等信号输入
接通电源:DC24V供电,具备反接与过压保护
启动与控制:拨动开关至ON,通过上位机或本地按键操作
提示:设备支持自学习模式,可自动优化控制参数,简化调试流程。
🛡️ 售后服务与保障
质保期:18个月
响应时间:48小时内响应,支持现场服务
技术支持:7×24小时热线,远程诊断与指导
培训服务:提供操作与维护培训,提升使用效果
配件供应:原厂配件,终身有偿维修