湿氧系统解决方案

（湿氧恒温槽二联式）

Wet Oxygen System Solution (Dual Wet Oxygen Thermostatic Bath)

一

方案概述

Solution Overview

1-1

方案背景

早期半导体生产过程中，湿氧补液环节存在显著痛点，制约生产效率与稳定性：

• 依赖人工换水，自动化程度低

• 需高空作业，存在安全隐患

• 换水操作耗时久，影响生产连续性

• 人工管控易导致换水不及时，引发工艺波动

• 专人值守浪费人力成本

• 上述问题叠加，最终导致产能受限、产品一致性下降

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方案核心价值

本方案通过自动化升级与结构优化，针对性解决传统工艺痛点：

• 实现全自动换水，无需人工干预

• 规避高空作业风险，提升操作安全性

• 优化换水流程，实现高效快速换水

• 精准定时换水，保障工艺稳定性

• 集成水质检测功能，严控工艺介质质量

• 减少人工投入，提升整体产能与产品一致性

二

方案布局与核心部件

System Layout & Core Components

2-1

整体布局设计

本方案采用分层式布局，功能分区明确，便于安装与维护：

• 一层：安装气体减压装置、集成水箱（含排水泵）、水质检测模块

• 二层/四层/五层：安装二联机恒温槽，配套换水气动阀集中部署于恒温槽旁

• 三层：安装电控箱，集中实现系统控制与数据通讯

• 核心组件：恒温槽采用特制石英源瓶，集成排水、补水、泄压等多功能设计，适配工艺需求

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核心部件说明

部件名称	安装位置	核心功能
二联恒温槽	二层 / 四层 / 五层	提供稳定温控环境，支持2个源瓶同时工作，具备温度监测、加热恒温及信号输出功能
特制湿氧瓶	二层 / 四层 / 五层（恒温槽内）	1.5L容量，集成补水口（与工艺进气共用）、出气口、排水口、泄压口、测温口
电控箱	三层	采用单相AC220V电源，带触摸屏操作，实现自动/手动补液控制、上位机数据交互
恒温槽托盘	二层 / 四层 / 五层	集成电磁阀、换水气动阀、源瓶压力监测模块及气源/水源/排水接口
集成水箱	一层	含液位计、排水泵及出口管件，为系统提供稳定补水来源
气体减压集成装置	一层	集成空压气减压阀、氮气减压阀、纯水检测装置，统一管控工艺用气/用水质量
伴热带及保温材料	源瓶出气口至炉管进气口	AC220V供电，保障工艺气体传输过程温度稳定，长度按现场实际需求配置

三

二次配技术要求

Secondary Configuration Requirements

电源配置

• 供电规格：AC220V，每处配置1KW两位三脚插座

• 适配设备：3个恒温槽、1个电控箱

• 安装要求：按现场设备布局预留插座点位，保障供电稳定性

气体配置

空压气：

• 压力要求：0.6~0.8MPa

• 接口规格：现场预留φ8 PC气管接头

• 连接方式：采用10转8三通驳接

纯氮气：

• 流量要求：2.0L/min

• 接口规格：设备预留1/4铁氟龙气管接口

水质与排水配置

超纯水：

• 压力要求：0.5~1.5bar

• 接口规格：设备预留1/4铁氟龙接头

• 水质要求：符合半导体工艺用水标准

废水外排：

• 管路规格：外排管内径φ12mm

• 接口要求：现场预留G1/2外牙接口

通讯与信号配置

• 通讯方式：以太网Modbus TCP/IP

• 信号交互：机台需提供各管路工艺状态信号，换水操作仅在非工艺状态下执行，确保工艺安全

四

技术参数（参考值）

Technical Parameters (Reference)

参数类别	规格详情
控温范围	70℃-90℃
静态温度波动	≤0.3℃
源瓶加热时间	约45min（从常温升至设定温度）
源瓶液位监测信号	75px、150px、200px、250px（四级液位报警与控制）
源瓶标准容量	1.5L
源瓶内介质	超纯水
水质检测指标	电导率（实时监控，保障工艺介质纯度）
单次换水时间	约10分钟（正常工况下）
操作模式	自动/手动双模式（支持现场切换）
上位机通讯方式	以太网Modbus TCP/IP

五

主要物料清单

Main Material List

物料名称	数量	备注
电控箱	1套	单相AC220V电源，带触摸屏操作；核心功能：自动/手动补液控制、上位机数据交互（以太网Modbus TCP/IP通讯）
二联恒温槽	3个	1.单相AC220V电源；2.含2个源瓶槽位；3.具备源瓶/伴热带温度监测及加热恒温功能；4.支持温度通讯输出；5.具备源瓶液位监测及I/O信号输出
特制湿氧瓶	6个	1.5L多功能设计，含补水口（与工艺进气共用）、出气口、排水口、泄压口、测温口
伴热带及保温材料	6条	AC220V电源，适配源瓶出气口至炉管进气口的管路保温，长度按现场实际需求配置
恒温槽托盘	3个	集成电磁阀、换水气动阀、源瓶压力监测模块、气源/水源/排水接口
集成水箱	1套	含液位计、排水泵及出口管件，提供稳定补水
气体减压集成装置	1个	集成空压气减压阀、氮气减压阀、纯水检测装置，统一管控气/水质量

六

现场安装说明

Field Installation Instructions

1

安装流程：按"基础定位→部件固定→管路接驳→电气连接→调试运行"步骤执行

2

注意事项：

• • 管路接驳需确保气密性与水密性，避免泄漏

• • 电气连接需符合安全规范，接地可靠

• • 调试阶段需验证温度稳定性、液位控制精度及自动换水流程完整性

3

现场效果图：按实际安装完成后的设备布局展示

专业安装                         规范布线                         安全可靠

安装注意事项

所有安装工作需由专业技术人员按照本方案要求执行，确保系统安全稳定运行。安装完成后需进行72小时连续运行测试，验证系统各项功能指标。

// 简单的交互效果        document.addEventListener('DOMContentLoaded', function() {            const specCards = document.querySelectorAll('.spec-card');                        specCards.forEach(card =>{                card.addEventListener('mouseenter', function() {                    this.style.borderTopColor = '#004085';                });                                card.addEventListener('mouseleave', function() {                    this.style.borderTopColor = '#0066cc';                });            });                        // 表格行悬停效果            const tableRows = document.querySelectorAll('tbody tr');            tableRows.forEach(row => {                row.addEventListener('mouseenter', function() {                    this.style.backgroundColor = '#e8f0fd';                });                                row.addEventListener('mouseleave', function() {                    if (Array.from(tableRows).indexOf(this) % 2 === 0) {                        this.style.backgroundColor = '#f8fbff';                    } else {                        this.style.backgroundColor = 'white';                    }                });            });                        // 图片加载错误处理            const images = document.querySelectorAll('img');            images.forEach(img => {                img.addEventListener('error', function() {                    this.src = 'data:image/svg+xml;base64,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';                    this.alt = '组件示意图';                });            });        });