主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁产品的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的扩散工艺。