高温细丝炉体

一、产品介绍

1-1 产品简介

高温细丝炉体主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁产品的加热装置，可与美国 TEMPRESS、美国 TYAN、美国 THERMCO、荷兰 ASM、英国 BTU、日本 TEL 等国外多种型号扩散炉配套使用（可替代进口）。产品采用国外先进加工工艺，选用进口优质材料制作，适用于 2-8 英寸硅片的扩散工艺。

1-2 产品结构

产品结构可根据实际使用场景自主设计（以下图纸仅供参考）：

• 炉胆：采用设备真空吸附成型工艺；

• 炉壳：选用 T1.2mm 或 T1.5mm 厚的 SUS304 或 SUS201 不锈钢表面拉丝板制作；

• 炉体保温材料：炉壳内侧采用厚度为 10~12.5mm 的含锆纤维毯进行保温；

• 炉口尾把扣环材料：采用 TY/PMF1600 多晶莫来石保温棉（容重 450~600Kg/m³）。

1-3 产品特点

1. 炉丝：常用材质为进口康泰尔 A1、首钢 HYZ 及 HRE，线径常用规格为 2.5mm、2.8mm、3.0mm、3.2mm；

2. 温度性能：炉体最高设计温度 1200℃，长期使用温度范围为 400℃至 1100℃；

3. 结构设计：保温材料搭配合理，炉体结构紧密，热稳定性强；

4. 适配性强：可与多款进口扩散炉兼容，支持定制化设计。

1-4 产品功能

炉体为扩散炉提供核心热能源，而扩散炉的核心用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂 —— 即将磷、硼等元素扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度及分布，建立不同电特性区域；同时，还能在硅片表面生长一层二氧化硅膜，实现对硅晶体的保护。作为扩散炉温区控制的核心部件，炉体的稳定运行对整个工艺效果起着至关重要的作用。

1-5 技术参数（可支持定制，以下为参考值）

1-6 核心材料参数

炉体关键保温材料统一采用 TY/PMF1600 多晶莫来石保温棉，保障保温效果与使用寿命。

二、炉体运行控制

2-1 控制原理与组件

炉体运行控制通过 “温度采集 - 温度控制 - 功率调整” 的闭环系统实现，确保温度精准稳定：

1. 温度采集：炉体内搭载铂热电偶（PT100），实时采集炉内温度数据；

2. 温度控制：采用高精度温控器，根据采集到的温度数据进行实时调控；

3. 功率调整：通过调功器动态调整加热功率，匹配温控器的控制指令，保障温区稳定性。

三、节能高温细丝炉体

3-1 节能炉体介绍

节能型高温细丝炉体是在原有产品基础上，通过优化生产工艺、调整原材料配比，使炉体内部结构更紧密，减少热场温区散热，并采用全新技术方案打造而成。经 1050℃工艺周期实测，与原方案相比，工艺改进后能源消耗降低 5%-10%，其中恒温状态下的节能效果尤为显著。

3-2 节能技术亮点

1. 节能设计：选用节能型加热元件与高效隔热材料，从源头降低能耗；同时优化炉体结构与工艺流程，提升能源利用效率；

2. 能量回收：设计专属能量回收系统，通过热交换器将炉体产生的余热回收，用于预热进气或加热其他工艺环节，实现能源二次利用；

3. 智能节能控制：开发定制化智能节能控制算法，可根据不同工艺需求自动调整加热功率，在保证工艺效果的前提下最大化降低能耗。

3-3 节能效果与收益

3.3.1节能效果

经保温测试验证，节能炉体相比传统炉体可实现约 10% 的省电效果。

3.3.2收益核算（单台设备）

四、合作客户

公司凭借优质的产品与服务，已与多家行业知名企业建立长期合作关系，部分合作客户及对应产品型号如下：