真空系统设计中主泵的选择　　

　　在真空系统中，主泵决定被抽容器的极限真空度和工作真空度，而前级泵在主泵出口产生始终低于主泵临界前级压力的真空，保证主泵能正常工作。

　　选择主泵有两个方面要考虑，一是选择主泵的类型，二是确定主泵抽速的大小。

　　(1)真空系统主泵型号的确定

　　确定主泵类型的依据是：

　　①根据被抽容器所要求的极限真空度和工作真空度。一般主泵的极限真空度略高于被抽容器所需的极限真空度（例如高半个数量级）。每种类型的泵都有其最佳工作压力范围，应保证被抽容器的工作真空度选择在主泵的最佳抽速压力范围内。

　　②根据所抽气体的种类、各气体的比例及气体中所含的粉尘。为此，应了解各种真空泵的性能和使用特点。例如油封式机械真空泵可以直接排到大气中，即可以单独抽真空，也可以作为某些泵的前级泵。在没有气镇装置的情况下，该泵只适用于抽干气。配备气镇装置时，还可抽吸含有少量水蒸气的气体。不适用于抽吸爆炸性气体。腐蚀性气体和含有颗粒粉尘的气体。又如油增压泵和油扩散泵，都是油蒸汽流量泵。这两种泵对小摩尔质量的气体（如氢气）的抽气量大，抽吸的气体中含有少量的灰尘和水蒸气，作用不大。但他们不能将气体直接排放到大气中，必须有前级泵，并且在工作前必须有一个预真空环境。当这两种泵作为主泵系统时，一定量的泵油蒸汽会回流到被抽容器中。

　　③按初始投资和日常运维成本计算

　　当有两种以上的泵适合选用时，应根据经济指标确定主泵。在比较经济指标时，请考虑整个真空系统。图12为油扩散泵、油增压泵和罗茨泵系统单位抽速(L/s)的价格与进口压力的关系曲线。图13是显示输入功率和每单位泵送速率(L/s)的入口压力之间关系的图表。从两图中的曲线可以看出，在1.33×10-1～13.3Pa的压力范围内，以油增压泵为主泵的真空系统更经济，所需功率更少。在压力低于1.33×104Pa的范围内，油扩散泵泵送系统更经济。在高于13.3Pa的压力范围内，罗茨泵系统更经济。因此，在泵的选择过程中，应以它的适用性和经济性为基础。

　　单位抽水量价格与进口压力的关系

　　单位抽气率输入功率与入口压力的关系