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一个完整的真空系统的组成
一个完整的真空系统的组成
真空应用设备有很多种,但无论是哪一种真空应用设备,都有一套抽气系统将抽真空容器内的气体排除,从而使真空容器内获得所需的真空条件。 例如:用于真空处理的容器,通过管道和阀门与真空泵相连。 真空泵抽空容器时,容器上必须有真空测量装置,构成最简单的真空抽气系统。

一个完整的真空系统的组成

  真空应用设备有很多种,但无论是哪一种真空应用设备,都有一套抽气系统将抽真空容器内的气体排除,从而使真空容器内获得所需的真空条件。 例如:用于真空处理的容器,通过管道和阀门与真空泵相连。 真空泵抽空容器时,容器上必须有真空测量装置,构成最简单的真空抽气系统。  (图1)。

  简单的真空系统图

  图1:最简单的真空系统图

  图1所示的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度。 当需要获得高真空范围内的真空度时,通常串联图1所示的真空系统。 高真空泵。 高真空泵串联时,通常在高真空泵的进出口加装阀门,使高真空泵单独保持真空。 如果串联的高真空泵为油扩散泵,为了防止大量油蒸汽回流到被抽容器中,通常在油扩散的进口处加装疏水阀、水冷挡板 泵(如图 2 所示)。 根据需要,还可以在管路上加装除尘器、真空继动表头、真空柔性连接管、真空泵进口放气阀等,从而形成比较完整的高真空系统。

  高真空系统示意图

  图2:高真空系统示意图

  对于任何由两个或多个真空泵串联组成的真空系统,低真空泵通常称为上级高真空泵的前级泵(或前置泵),最高级真空泵称为 称为真空系统。 主泵,即最重要的泵,被抽容器内的极限真空度和工作真空度由主泵决定。 被抽容器出口与主泵进口之间的管路称为高真空管路,主泵进口处的阀门称为主阀。

  通常前级泵也兼作预真空泵。 被抽容器与预泵之间的管道称为预真空管道,管道上的阀门称为预真空管道阀门。 主泵出口与前级泵进口之间的管路称为前级管路,该管路上的阀门称为后级管路阀,并设置柔性连接管路,以隔离前级泵的振动 .

  一般来说,更完整的真空系统由以下几部分组成:

  1、抽气设备:如各种真空泵

  2.真空阀

  3.连接管道

  4、真空测量装置:如真空压力表、各种仪表

  5、其他部件:如集尘器、除尘器、真空继电器表头、储气罐等。

  那么,究竟什么是真空系统? 一句话概括就是:一种抽气系统,用来获得有特定要求的真空度。

  真空系统设计的基本内容:根据被抽容器的真空度要求,选择合适的真空系统设计方案,选配泵; 确定导管、阀门、疏水阀、真空测量元件等,并进行合理配置,最后绘制真空系统总成图和零件图。

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