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广东福雪莱电气有限公司
 Guangdong Fuxuelai Electric Co., Ltd
   
     
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湿氧自动补液系统FSY-JW2X3-01
    发布时间: 2023-12-15 10:12    

湿氧自动补液系统(恒温槽二联机)核心产品卖点

  1. 全自动化运行,彻底解放人力

    • 实现补水、排水、换水全流程无人干预,告别人工高空作业与专人值守,规避安全隐患;

    • 支持定时自动换水(非工艺状态执行),解决人工换水不及时导致的工艺波动问题,保障生产连续性。

  2. 工艺稳定性拉满,适配半导体高要求

    • 精准控温:70-90℃控温范围,静态温度波动≤0.3℃,源瓶加热 45 分钟即可达设定温度,保障湿氧环境稳定性;

    • 水质严控:集成电导率实时监测,确保超纯水介质纯度符合半导体工艺标准,避免水质杂质影响产品良率;

    • 液位精准管控:四级液位(3cm/6cm/8cm/10cm)报警与控制,防止源瓶缺液或溢液,稳定工艺参数。

  3. 高效紧凑设计,适配现场安装需求

    • 分层式布局(一层气源 / 水箱、二 / 四 / 五层恒温槽、三层电控箱),功能分区明确,便于维护与管路接驳;

    • 二联恒温槽支持 2 个源瓶同步工作,3 台设备可适配 6 个特制湿氧瓶(1.5L 多功能设计),空间利用率高;

    • 快速换水:单次换水仅需 10 分钟,远优于传统人工操作,减少生产中断时间。

  4. 智能交互 + 灵活适配,降低落地门槛

    • 自动 / 手动双操作模式,搭配触摸屏电控箱,操作便捷;支持以太网 Modbus TCP/IP 通讯,无缝对接上位机系统,实现远程监控与数据追溯;

    • 标准化接口设计:空压气 φ8 PC 接头、纯水 1/4 铁氟龙接头、排水 G1/2 外牙接口,适配现场二次配需求,安装兼容性强。

  5. 安全可靠 + 长效耐用,降低综合成本

    • 多重安全保障:非工艺状态换水锁定、源瓶泄压设计、管路气密性保障,杜绝泄漏与高温风险;

    • 核心部件优化:特制石英源瓶集成多接口(补水 / 出气 / 排水 / 泄压 / 测温),伴热带保温确保气体传输温度稳定,延长设备使用寿命;

    • 降本显著:减少人工投入、降低工艺波动导致的废品率,提升产能与产品一致性,长期使用收益突出。


湿氧自动补液系统FSY-JW2X3-01
湿氧自动补液系统方案(恒温槽二联机)- 广东福雪莱电气有限公司

广东福雪莱电气有限公司

湿氧自动补液系统方案(恒温槽二联机)

方案概述

本方案针对湿氧恒温槽系统设计了完整的自动补液换水解决方案,通过自动化控制系统实现恒温槽的智能换水、补液和监控功能,大幅提升生产效率和自动化水平。

整体布局方案

5F

第五层:恒温槽安装层

安装二联机恒温槽,配置换水气动阀

4F

第四层:恒温槽安装层

安装二联机恒温槽,配置换水气动阀

3F

第三层:电控箱安装层

安装系统主电控箱,集成控制系统

2F

第二层:恒温槽安装层

安装二联机恒温槽,配置换水气动阀

1F

第一层:辅助设备层

安装气体减压装置、水箱及排水泵、水质检测系统等

系统特点

  • 采用特制多功能石英源瓶,具备排水、补水、泄压等功能

  • 换水气动阀集中安装,便于维护和操作

  • 三层式电控箱设计,实现集中控制

  • 支持自动/手动两种换水模式

  • 以太网Modbus TCP/IP通讯,支持与上位机数据交换

方案背景

传统的湿氧恒温槽换水方式存在诸多问题,影响生产效率和质量。本方案旨在解决以下痛点:

传统人工换水问题

  • 人工换水 - 早期自动化程度低,依赖人工操作

  • 高空作业 - 换水位置较高,存在安全隐患

  • 换水不及时 - 依赖人工判断,无法及时响应

  • 换水时间长 - 手动操作效率低下,耗时长

  • 浪费人工 - 占用大量人力资源

  • 影响生产 - 换水期间需停止生产,影响产能

解决方案

湿氧自动补液系统通过自动化技术解决传统换水方式的问题,实现智能高效的恒温槽管理。

自动换水系统优势

  • 自动换水 - 提高自动化程度,减少人工干预

  • 准时换水 - 根据设定时间或条件自动执行

  • 快速换水 - 约10分钟完成一次换水过程

  • 水质检测 - 集成电导率检测,确保水质达标

  • 节省人工 - 大幅减少人力需求

  • 提高产能 - 减少停机时间,提升生产效率

系统布局

系统采用分层布局设计,各层功能明确,便于安装和维护。

二联恒温槽及特制湿氧瓶

安装于第二、四、五层,每层配置二联恒温槽和湿氧瓶,特制石英源瓶具备多功能接口。

电控箱

安装于第三层,集中控制系统,带触摸屏操作,支持自动/手补液功能。

水箱及托盘

安装于第一层,集成液位计、排水泵、减压阀和水质检测装置。

设备配置

系统采用高品质设备组件,确保稳定可靠运行。

恒温槽托盘(第二、四、五层)

集成电磁阀、换水气动阀、源瓶压力监测、气源水源排水接口,便于集中控制和管理。

水箱托盘(第一层)

集成空压气减压阀、氮气减压阀、纯水检测装置,实现辅助设备的集中安装和管理。

二次配要求

现场需提供的电源、气源、水源等配套设施。

1. 电源

AC220V,每处1KW两位三脚插座(3个恒温槽、1个电控箱)

2. 空压气

压力0.6~0.8MPa,现场需预留φ8 PC气管接头(供气动阀使用)

3. 纯氮气

流量2.0L/min,本设备预留口为1/4铁氟龙气管(源瓶排水用)

4. 超纯水

水压0.5~1.5bar,本设备预留口为1/4铁氟龙接头(源瓶工艺用)

5. 通讯接口

机台提供各管工艺状态信号,以太网通讯(换水需要在不工艺情况下进行)

6. 废水外排

外排管内径φ12MM,需要现场预留G1/2外牙接口(废水箱满之后需要外排)

技术参数

系统主要技术规格和性能指标。

参数名称技术规格
控温范围70℃-90℃
静态温度波动≤0.3℃
源瓶加热时间约45min
源瓶液位点信号3、6、8、10CM
源瓶容量标准1.5L
源瓶内介质超纯水
水质检测指标电导率
换水时间正常情况约10分钟/次
换水方式自动/手动
与上位机通讯方式以太网modbus TCP/IP

主要物料清单

系统所需的主要设备和物料清单。

物料名称数量备注
电控箱1套单相AC220V电源,带触摸屏操作,主要控制源瓶自动/手补液功能,与上位机数据信号交换功能以太网MODBUS TCP/IP通讯。
恒温槽(双联)3个1、单相AC220V电源;2、2个源瓶槽位;3、具备漏水、伴热等温度监测及加热恒温功能;4、具备温度监测功能;5、具备漏水或低温监测及压力信号输出功能。
湿氧瓶6个特别多功能1.5L湿氧瓶,具备:补水口(与工艺进气共用)、出气口、排水口、泄压口、测温口。
伴热带及保温材料6条,长度根据现场AC220V电源,从源瓶出气口管到外管的进气口。
恒温槽托盘3个集成:电磁阀、换水气动阀、源瓶压力监测、气源水源排水接口。
水箱1套集成:液位计、排水泵及出口管件。
水箱托盘1个集成:空压气减压阀、氮气减压阀、纯水检测装置。

现场安装效果图

系统安装完成后的现场效果示意图。


湿氧自动补液系统现场安装效果图

(实际安装图)