方案概述
本方案针对湿氧恒温槽系统设计了完整的自动补液换水解决方案,通过自动化控制系统实现恒温槽的智能换水、补液和监控功能,大幅提升生产效率和自动化水平。
整体布局方案
第五层:恒温槽安装层
安装二联机恒温槽,配置换水气动阀
第四层:恒温槽安装层
安装二联机恒温槽,配置换水气动阀
第三层:电控箱安装层
安装系统主电控箱,集成控制系统
第二层:恒温槽安装层
安装二联机恒温槽,配置换水气动阀
第一层:辅助设备层
安装气体减压装置、水箱及排水泵、水质检测系统等
系统特点
采用特制多功能石英源瓶,具备排水、补水、泄压等功能
换水气动阀集中安装,便于维护和操作
三层式电控箱设计,实现集中控制
支持自动/手动两种换水模式
以太网Modbus TCP/IP通讯,支持与上位机数据交换
方案背景
传统的湿氧恒温槽换水方式存在诸多问题,影响生产效率和质量。本方案旨在解决以下痛点:
传统人工换水问题
人工换水 - 早期自动化程度低,依赖人工操作
高空作业 - 换水位置较高,存在安全隐患
换水不及时 - 依赖人工判断,无法及时响应
换水时间长 - 手动操作效率低下,耗时长
浪费人工 - 占用大量人力资源
影响生产 - 换水期间需停止生产,影响产能
解决方案
湿氧自动补液系统通过自动化技术解决传统换水方式的问题,实现智能高效的恒温槽管理。
自动换水系统优势
自动换水 - 提高自动化程度,减少人工干预
准时换水 - 根据设定时间或条件自动执行
快速换水 - 约10分钟完成一次换水过程
水质检测 - 集成电导率检测,确保水质达标
节省人工 - 大幅减少人力需求
提高产能 - 减少停机时间,提升生产效率
系统布局
系统采用分层布局设计,各层功能明确,便于安装和维护。
二联恒温槽及特制湿氧瓶
安装于第二、四、五层,每层配置二联恒温槽和湿氧瓶,特制石英源瓶具备多功能接口。
电控箱
安装于第三层,集中控制系统,带触摸屏操作,支持自动/手补液功能。
水箱及托盘
安装于第一层,集成液位计、排水泵、减压阀和水质检测装置。
设备配置
系统采用高品质设备组件,确保稳定可靠运行。
恒温槽托盘(第二、四、五层)
集成电磁阀、换水气动阀、源瓶压力监测、气源水源排水接口,便于集中控制和管理。
水箱托盘(第一层)
集成空压气减压阀、氮气减压阀、纯水检测装置,实现辅助设备的集中安装和管理。
二次配要求
现场需提供的电源、气源、水源等配套设施。
1. 电源
AC220V,每处1KW两位三脚插座(3个恒温槽、1个电控箱)
2. 空压气
压力0.6~0.8MPa,现场需预留φ8 PC气管接头(供气动阀使用)
3. 纯氮气
流量2.0L/min,本设备预留口为1/4铁氟龙气管(源瓶排水用)
4. 超纯水
水压0.5~1.5bar,本设备预留口为1/4铁氟龙接头(源瓶工艺用)
5. 通讯接口
机台提供各管工艺状态信号,以太网通讯(换水需要在不工艺情况下进行)
6. 废水外排
外排管内径φ12MM,需要现场预留G1/2外牙接口(废水箱满之后需要外排)
技术参数
系统主要技术规格和性能指标。
| 参数名称 | 技术规格 |
|---|---|
| 控温范围 | 70℃-90℃ |
| 静态温度波动 | ≤0.3℃ |
| 源瓶加热时间 | 约45min |
| 源瓶液位点信号 | 3、6、8、10CM |
| 源瓶容量 | 标准1.5L |
| 源瓶内介质 | 超纯水 |
| 水质检测指标 | 电导率 |
| 换水时间 | 正常情况约10分钟/次 |
| 换水方式 | 自动/手动 |
| 与上位机通讯方式 | 以太网modbus TCP/IP |
主要物料清单
系统所需的主要设备和物料清单。
| 物料名称 | 数量 | 备注 |
|---|---|---|
| 电控箱 | 1套 | 单相AC220V电源,带触摸屏操作,主要控制源瓶自动/手补液功能,与上位机数据信号交换功能以太网MODBUS TCP/IP通讯。 |
| 恒温槽(双联) | 3个 | 1、单相AC220V电源;2、2个源瓶槽位;3、具备漏水、伴热等温度监测及加热恒温功能;4、具备温度监测功能;5、具备漏水或低温监测及压力信号输出功能。 |
| 湿氧瓶 | 6个 | 特别多功能1.5L湿氧瓶,具备:补水口(与工艺进气共用)、出气口、排水口、泄压口、测温口。 |
| 伴热带及保温材料 | 6条,长度根据现场 | AC220V电源,从源瓶出气口管到外管的进气口。 |
| 恒温槽托盘 | 3个 | 集成:电磁阀、换水气动阀、源瓶压力监测、气源水源排水接口。 |
| 水箱 | 1套 | 集成:液位计、排水泵及出口管件。 |
| 水箱托盘 | 1个 | 集成:空压气减压阀、氮气减压阀、纯水检测装置。 |
现场安装效果图
系统安装完成后的现场效果示意图。

湿氧自动补液系统现场安装效果图
(实际安装图)






